В холдинге РКС разрабатываются датчики повышенной точности

Специалисты НИИ физических измерений (НИИФИ, входит в холдинг «Российские космические системы») разработали ряд инновационных приборов и технологий, в их числе – сигнализатор давления мембранный, интегральный преобразователь давления, датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой и технология защиты углов кремниевых микромеханических структур при анизотропном травлении. Мембранный сигнализатор давления СДР-1 (награжден бронзовой медалью международного…