Специалисты НИИ физических измерений (НИИФИ, входит в холдинг «Российские космические системы») разработали ряд инновационных приборов и технологий, в их числе – сигнализатор давления мембранный, интегральный преобразователь давления, датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой и технология защиты углов кремниевых микромеханических структур при анизотропном травлении.
Мембранный сигнализатор давления СДР-1 (награжден бронзовой медалью международного салона изобретений «Архимед-2019») предназначен для выдачи электрического сигнала на замыкание или размыкание цепи при достижении заданной величины избыточного давления жидкости или газа в различных системах. В его создании принимали участие Ирина Бакатова, Инна Тяпкина, Сергей Минеев и Сергей Козин.
Высокой точностью отличается и созданный авторским коллективом в составе Ивана Ползунова, Александра Родионова и Вадима Шокорова интегральный преобразователь давления ПДТ, который может быть использован в различных системах контроля и измерения давления жидкостей и газов. Изобретение отмечено золотой медалью салона «Архимед-2019».
Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (серебряная медаль «Архимед-2019») разработан Евгением Белозубовым, Натальей Козловой, Валентиной Вологиной и Юлией Козловой.
Технология защиты углов кремниевых микромеханических структур при анизотропном травлении (также серебряная медаль «Архимед-2019»), в разработке которой принимали участие Валерий Пауткин, Александр Мишанин, Антонина Папко и Вера Алексеева, позволяет создавать кремниевые микромеханические чувствительные элементы датчиков для бесплатформенных инерциальных навигационных систем.
